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宜城气相沉积炉

宜城气相沉积炉

  • 所属分类:宜城气相沉积炉
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  • 发布时间:2022-11-08 11:55:43
  • 产品概述

CVD气相沉积炉的介绍:

CVD气相沉积炉是Chemical Vapor Deposition的简称,是指高温下的气相反应,例如,金属卤化物、有机金属、碳氢化合物等的热分解,氢还原或使它的混合气体在高温下发生化学反应以析出金属、氧化物、碳化物等无机材料的方法。

气相沉积炉用途:

气相沉积炉在抽真空后氢气保护的情况下,利用中频感应加热原理,使位于盘管内的钨坩埚达到高温,通过热辐射传导到工作中,适用于科研、军工部门对钨、钼及其合金粉末进行成型烧结。安装气相沉积炉的场地应符合真空卫生要求,周围空气清洁干燥,通风条件好,工作场所不易扬起灰尘等。

CVD气相沉积的功能特点:

1、采用纯微波加热、传统电加热或混合加热方式,可加热包括金属在内的非易燃易爆材料;

2、升温速率快,智能控温,可分段设置,控温稳定度好,热惯性小。同时加热多个温区,且加热区长度可调;

3、可通各种气氛,抽真空有机械泵、扩散泵和分子泵,可达真空状态;

4、炉体采用不锈钢密封法兰(铰链结构);

5、保护管采用合金管,气管采用卡套或VCR接口,安装方便;

6、炉体配有自动冷却风扇,降低温度;

7、真空系统:机械泵扩散泵和分子泵,真空密度计;

8、可通过电脑全程监控和调试。

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气相沉积炉

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